SPEKTRA: Erreger für Schwingungstests bis zu Megahertz-Frequenzen

Zum Testen und Charakterisieren von Sensoren, die auf MEMS-Technologien basieren, werden von Sensorherstellern und deren Kunden immer hochfrequentere mechanische Erreger benötigt, die sowohl translatorische als auch rotatorische Schwingungen erzeugen können. Waren vor 10 Jahren noch Frequenzen zwischen 20 kHz und 50 kHz ausreichend, gehen die Anforderungen für die nahe Zukunft…

POLYTEC prüft verkapselte MEMS als Dienstleistung

Für die präzise Untersuchung der Dynamik von MEMS und anderen Mikrostrukturen hat sich die Laser-Doppler-Vibrometrie (LDV) etabliert. Da sie aber typischerweise mit sichtbaren Wellenlängen arbeitet, kann sie die Siliziumverkapselung von MEMS nicht durchdringen und damit verkapselte MEMS auch nicht direkt untersuchen. Polytec bietet die patentierte Lösung: Die Charakterisierung mit Lichtquellen…